重复性 ＜2urad工作波长 780nm（反射率大于99%）角度分辨率 18bit非线性度 ＜0.9mrad/44°扫描范围 ±0.36rad入射口直径 10mm光束位移 12.56mm响应时间 ＜0.4ms最大扫描速度 100rad/s
