xy方向赛凡7SWA3050，行程50mm，定位精度3μm；z方向赛凡7SVA425, 行程25mm，定位精度3μm；此外配有驱动器赛凡7SC3。

7SWA3050：http://www.7-s.com.cn/pro-163.html

7SVA425： http://www.7-s.com.cn/pro-176.html

7SC303： http://www.7-s.com.cn/pro-276.html